ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列

量程0.5 SCCM - 10000 SLPM，優于1 %的精度，100 ms 快速響應

美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

應用及案例

● 大學/研究所 ● 汽車制造

● 環境監測 ● 計量校準

● 真空行業及鍍膜 ● 過程工藝氣體測量

● 工業爐窯

產品特色技術指標選項配件操作手冊機構認證尺寸詳圖尺寸壓損產品大圖型號列表氣體編碼宣傳彩頁

產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力

● 可選高精度：優于0.5%

l可適用于多種腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術指標

介質要求潔凈、干燥的腐蝕性和非腐蝕性氣體

介質種類內置了130種氣體，用戶可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量程從0-0.5 SCCM 到 0-10000 SLPM

量程可控比（穩態）：1-100%滿量程

顯示屏標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（量程5 SCCM - 500 SLPM可選）

累計流量精度流量精度之外增加±0.5%讀數額外誤差

重復性 ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程)（從校準壓力開始）

控制響應時間(T63) 30-4000ms（與流量相關，用戶可調）

顯示響應時間： 10-4000ms（與流量相關，用戶可調）

預熱時間＜ 1 s

工作溫度 -10 ~ 60 ℃（環境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環境85℃）

溫度精度 ± 0.75℃

工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力 11.5-160PSIA

壓力精度 ±0.5%滿量程

耐壓 200PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

滿量程壓損參考詳細壓損表

數字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數據刷新頻率數字信號40 Hz@19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

模擬信號精度在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差

供電電壓 12-30 VDC （與量程相關）

供電電流 250 mA，1 A，2 A（與量程相關，詳情咨詢）

額外加 40 mA（ 4–20 mA輸出）

電氣接口 DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材質主體和傳感器材質：316L和303SS

PCV閥門材質：430FRSS

R閥門材質：410SS

密封材質：FFKM（默認），可根據特殊氣體選用FKM或EPDM

過程接口 NPT內螺紋（默認），詳細規格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向建議與地面垂直安裝

安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數量和孔深與量程相關，具體請咨詢

防護等級 IP40（可選IP66）

認證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）

選項配件

操作手冊

朗潤達-ALICAT 簡易操作說明-氣體質量流量控制器21V1.pdf

機構認證

待更新。

尺寸詳圖

ALICAT 21S系列19V1.jpg

尺寸壓損

滿量程耐腐蝕質量流量控制器	滿量程壓損（psid）排氣到大氣中默認閥門配置	外形尺寸	過程接口	重量
0.5sccm	1.0	4.40''H ×3.34''W ×1.05''D	M5內螺紋（10-32兼容）（隨貨帶FFKM面密封轉1/8''NPT內螺紋接頭）
1-5sccm	2.0			1.1lb（約0.5kg）
10sccm	2.8
50sccm	1.0
100-500 sccm	1.0	4.57''H ×3.59''W ×1.05''D	1/8''NPT內螺紋
1slpm	1.5			1.2lb（約0.5kg）
2slpm	3.0
5slpm	2.0
10slpm	5.5
20slpm	20.0
50-100slpm（配置R閥門）	2.5	5.69''H ×7.65''W ×2.25''D	1/4''NPT內螺紋	9.0lb（約4.1kg）
250 slpm	2.4	5.99''H ×7.65''W ×2.25''D	1/2''NPT內螺紋	9.0lb（約4.1kg）
500 slpm	6.5	5.99''H ×7.28''W ×2.25''D	3/4''NPT內螺紋	9.0lb（約4.1kg）
1000 slpm	14.0	5.99''H ×7.28''W ×2.25''D	3/4''NPT內螺紋
2000 slpm	28.6	5.99''H ×8.10''W ×2.90''D	3/4''NPT內螺紋	12lb（約5.4kg）
3000 slpm	16.8	5.99''H ×8.10''W ×2.90''D	1-1/4''NPT內螺紋	12lb（約5.4kg）
5000 slpm	14.1	7.08''H ×10.00''W ×4.50''D	1-1/2''NPT內螺紋	28lb（約12.7kg）
10000 slpm	12.0	9.66''H ×9.66''W ×6.33''D	1-1/2''NPT內螺紋	23lb（約10.4kg）

產品大圖

MCS-1SLPM-D-DB9M-PCA13-P10-A030_WEB 拷貝.png

型號列表

見“尺寸壓損”。

氣體編碼

選型表截圖長圖.png

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。

宣傳彩頁

ALICAT 21S系列25V1.pdf