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工業(yè)表面處理
工業(yè)用零部件的表面處理都是相當有講究的。比如：汽車的發(fā)動機軸、氣缸套筒、高速齒輪等主要性能部件都需要進行表面氮化處理，以提高硬度、耐磨性和疲勞極限。
耐腐蝕質量流量控制器用于金屬表面氮化處理
氮化處理是利用氨在一定溫度(500～600℃)下所分解的活性氮原子向鋼的表面層擴散，而形成鐵氮合金，從而改變工件表面的力學性能和物理、化學性質。圖為國內某知名氮化爐生產廠家利用ALICAT質量流量控制器控制參與氮化爐內反應的氨氣的質量流量。
氨氣在400℃以上發(fā)生分解反應：2NH3→2N+3H2
分解出的氮原子被工件吸收從而形成氮化層。將被加工工件置于滲氮爐內不銹鋼真空密封罐中，通過質量流量控制器精密控制氨氣的輸入流量，加熱到520℃，根據(jù)工件要求的氮化層厚度保持適當?shù)臅r間，通常為10~60小時。整個過程中需要保持穩(wěn)定的氨氣流量并根據(jù)氮勢的變化迅速調節(jié)裂解氨氣的流量，由此確保滲氮爐內穩(wěn)定的氣氛及爐壓，使得被加工部件表面氮層均勻。
耐腐蝕質量流量控制器同時測量氮化爐多種變量參數(shù)
質量流量、體積流量、溫度、絕對壓力、累計流量(選配)
50毫秒內實現(xiàn)穩(wěn)定、可重復的流量控制
消除上游壓力波動造成的影響
標配98~128種工業(yè)常用純氣和混合氣體
靈活切換氣體、降低質量流量控制器采購成本
標配RS-232數(shù)字通訊 + 0~5V模擬通訊
可選配所有工業(yè)常用通訊方式：4～20mA, RS485, Modbus, Profibus, DeviceNet, EtherCAT, EtherCAT, LabVIEW
耐腐蝕質量流量控制器標配兼容氣體列表
再也不需要模棱兩可的系數(shù)K
| 純氣 | 生物反應混合氣 | 腐蝕性純氣 |
| ? 乙炔 (C2H2) | ? 5% CH4 95% CO2 | *須使用 20S/21S系列設備 |
| ? 空氣 | ? 10% CH4 90% CO2 | ? 氨氣 (NH3) |
| ? 氬氣 (Ar) | ? 15% CH4 85% CO2 | ? 丁烯 (1-Butene) |
| ? 異丁烷 (i-C4H10) | ? 20% CH4 80% CO2 | ? 順丁烯 (cis-2-Butene) |
| ? 正丁烷 (n-C4H10) | ? 25% CH4 75% CO2 | ? 異丁烯 |
| ? 二氧化碳 (CO2) | ? 30% CH4 70% CO2 | ? 反丁烯 |
| ? 一氧化碳 (CO) | ? 35% CH4 65% CO2 | ? 硫化羰 (COS) |
| ? 氘氣 (D2) | ? 40% CH4 60% CO2 | ? 氯氣 (Cl2) *僅限用于流量計 |
| ? 乙烷 (C2H6) | ? 45% CH4 55% CO2 | ? 二甲基乙醚 (CH3OCH3) |
| ? 乙烯 (C2H4) | ? 50% CH4 50% CO2 | ? 硫化氫 (H2S) |
| ? 氦氣 (He) | ? 55% CH4 45% CO2 | ? 三氟化氮 (NF3) |
| ? 氫氣 (H2) | ? 60% CH4 40% CO2 | ? 氧化一氮 (NO) |
| ? 氪氣 (Kr) | ? 65% CH4 35% CO2 | ? 丙烯 (C3H6) |
| ? 甲烷 (CH4) | ? 70% CH4 30% CO2 | ? 硅烷 (SiH4) |
| ? 氖氣 (Ne) | ? 75% CH4 25% CO2 | ? 二氧化硫 (SO2) *僅限用于流量計 |
| ? 氮氣 (N2) | ? 80% CH4 20% CO2 | |
| ? 一氧化二氮 (N2O) | ? 85% CH4 15% CO2 | |
| ? 氧氣 (O2) | ? 90% CH4 10% CO2 | |
| ? 丙烷 (C3H8) | ? 95% CH4 5% CO2 | |
| ? 六氟化硫 (SF6) | ||
| ? 氙氣 (Xe) | ||
| 呼吸氣體 | 燃燒混合氣 | 制冷劑 |
| ? EAN-32 (32% O2+68% N2) | ? 煤氣 50% H2+35% CH4+10% CO+5% C2H4 | *須使用20S/21S系列設備 |
| ? EAN-36 (36% O2+64% N2) | ? 吸熱型氣體 75% H2+25% N2 | ? R-11 Trichlorofluoromethane (CCl3F) |
| ? EAN-40 (40% O2+60% N2) | ? HHO 66.67% H2+33.33% O2 | ? R-14 Tetrafluoromethane (CF4) |
| ? EA-40 (40% O2+60% Air) | ? LPG HD-5 96.1% C3H8+1.5% C2H6+0.4% C3H6+1.9% n-C4H10 | ? R-22 Difluoromonochloromethane (CHClF2) |
| ? EA-60 (60% O2+40% Air) | ? LPG HD-10 85% C3H8+10% C3H6+ 5% n-C4H10 | ? R-23 Trifluoromethane (CHF3) |
| ? EA-80 (80% O2+20% Air) | ? 天然氣 93% CH4+3% C2H6+1% C3H8+2% N2+1% CO2 | ? R-32 Difluoromethane (CH2F2) |
| ? Heliox-20 (20% O2+80% He) | ? 天然氣 95% CH4+3% C2H6+1% N2+ 1% CO2 | ? R-115 Chloropentafluoroethane (C2ClF5) |
| ? Heliox-21 (21% O2+79% He) | ? 天然氣 95.2% CH4+2.5% C2H6+0.2% C3H8+0.1% C4H10+1.3% N2+0.7% CO2 | ? R-116 Hexafluoroethane (C2F6) |
| ? Heliox-30 (30% O2+70% He) | ? 合成氣體 40% H2+29% CO+20% CO2+11% CH4 | ? R-124 Chlorotetrafluoroethane (C2HClF4) |
| ? Heliox-40 (40% O2+60% He) | ? 合成氣體 64% H2+28% CO+1% CO2+7% CH4 | ? R-125 Pentafluoroethane (C2HF5) |
| ? Heliox-50 (50% O2+50% He) | ? 合成氣體 70% H2+4% CO+25% CO2+1% CH4 | ? R-134A Tetrafluoroethane (CH2FCF3) |
| ? Heliox-60 (60% O2+40% He) | ? 合成氣體 83% H2+14% CO+3% CH4 | ? R-142B Chlorodifluoroethane (CH3CClF2) |
| ? Heliox-80 (80% O2+20% He) | ? R-143A Trifluoroethane (C2H3F3) | |
| ? Heliox-99 (99% O2+1% He) | ? R-152A Difluoroethane (C2H4F2) | |
| ? Metabolic Exhalant (16% O2+78.04% N2+5% CO2+0.96% Ar) | ? RC-318 Octafluorocyclobutane (C4F8) | |
| ? R-404A (44% R-125+4% R-134A+52% R-143A) | ||
| ? R-407C (22% R-32+25% R-125+52% R-134A) | ||
| ? R-410A (50% R-32+50% R-125) | ||
| ? R-507A (50% R-125+50% R-143A) | ||
| 色譜氣體 | 氧濃縮器混合氣 | |
| ? P-5 (5% CH4+95% Ar) | ? 89% O2+7% N2+4% Ar | |
| ? P-10 (10% CH4+90% Ar) | ? 93% O2+3% N2+4% Ar | |
| ? 95% O2+1% N2+4% Ar | ||
| 焊接氣體 | 煙氣 | 激光氣體 |
| ? C-2 (2% CO2+98% Ar) | ? 2.5% O2+10.8% CO2+85.7% N2+1% Ar | ? 4.5% CO2+13.5% N2+82% He |
| ? C-8 (8% CO2+92% Ar) | ? 2.9% O2+14% CO2+82.1% N2+1% Ar | ? 6% CO2+14% N2+80% He |
| ? C-10 (10% CO2+90% Ar) | ? 3.7% O2+15% CO2+80.3% N2+1% Ar | ? 7% CO2+14% N2+79% He |
| ? C-15 (15% CO2+85% Ar) | ? 7% O2+12% CO2+80% N2+1% Ar | ? 9% CO2+15% N2+76% He |
| ? C-20 (20% CO2+80% Ar) | ? 10% O2+9.5% CO2+79.5% N2+1% Ar | ? 9.4% CO2+19.25% N2+71.35% He |
| ? C-25 (25% CO2+75% Ar) | ? 13% O2+7% CO2+79% N2+1% Ar | ? 9% Ne+91% He |
| ? C-50 (50% CO2+50% Ar) | ||
| ? C-75 (75% CO2+25% Ar) | ||
| ? He-25 (25% He+75% Ar) | ||
| ? He-50 (50% He+50% Ar) | ||
| ? He-75 (75% He+25% Ar) | ||
| ? He-90 (90% He+10% Ar) | ||
| ? A1025 (90% He+7.5% Ar+2.5% CO2) | ||
| ? Stargon CS (90% Ar+8% CO2+2% O2) |
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