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量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM，量程可控比0.01%-100%，低價位，響應時間優于30 ms，精度優于1%
Alicat51系列質量流量控制器是基于層流壓差原理的，利用獨特的層流元件使流體處于層流狀態，使用差壓傳感器測量流體上下游兩個位置的壓差，流量越大則壓差越大，根據泊肅葉方程計算出工況體積流量，再使用壓力和溫度傳感器讀數對體積流量進行溫壓補償得到標況質量流量。Alicat質量流量控制器將流量計和電磁比例閥集成為一體，具有閉環控制回路，根據傳感器流量讀數自動實時調節閥門開度，以快速穩定的將流量調節到設定值。針對CVD行業特殊設計的結構，VCR 接頭與底座一體式加工，結構更加緊湊，泄漏率可達10-9 atm·cc/sec He，更好的滿足客戶需求。
● 人造鉆石MPCVD設備
● 半導體各種CVD鍍膜設備
● 低價位產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、體積流量和質量流量等
● 多參數控制：體積流量，質量流量，壓力
● 三種控制方式：模擬、數字和本地顯示屏
● 量程可控比寬：0.01%-100%
● 內置98種氣體
● 用戶可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
● 響應時間快，優于30ms（可調）
精度升級 new! 詳情請咨詢
量程為 0.5 SCCM - 20 SLPM，
其中 10 0SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀 數 / ℃溫差
± 0.1 % 讀 數 / Atm 壓力差
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了 98 種氣體，用戶可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣；
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（詳情請咨詢）
測量和控制范圍 0.01~100% 滿量程
精 度 ± (0.8%讀數+0.2%滿量程)（10sccm-20SLPM參數見精度升級部分）
重復性 ±（0.2% 讀數 + 0.02% 滿量程）
零點&滿量程溫度漂移： 0.02% 滿量程 / ?C （從25 ?C開始）
零點&滿量程壓力漂移：±(0.08% 讀數 + 0.02% 滿量程)（從校準壓力開始）
預熱時間 <1s
響應時間 30ms（T63,可調）
默認標況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ +60 ?C
工作濕度 0-95%，無冷凝
上限工作壓力 1MPaG
極限耐壓 1.2MPaG
下限操作壓力 建議在80 KPaA 以上使用（其他請咨詢）
模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
供電電壓 12-24Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-24 Vdc)
供電電流 250 mA，1 A（詳情咨詢） 額外加 40 mA（ 如選4 - 20 mA）
電氣接口 DB9M
材 質 302, 303, 304, 316L, 430FR 不銹鋼， FKM氟橡膠， 陶瓷， 銅，玻璃，金， 環氧樹脂，硅橡膠， 聚酰胺，硅
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
滿量程 | 壓損1（psid） | 外觀尺寸(mm) | 連接接口 |
0.5sccm | 1 | 117.27H×124W ×26.67D | 1/4''VCRM |
1-5sccm | 2 | ||
10sccm | 2.8 | ||
20 sccm——500 sccm | 1.0 | ||
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
1、在出口端通大氣的情況下。 | |||
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
品種齊全，上萬種儀表
國外直銷， 原裝進口
誠信服務，售后保證
