ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列

快速響應(yīng)的真空控制。

在流動(dòng)氣體專用真空控制器中，53系列真空控制器可快速達(dá)到真空設(shè)定值并保持該設(shè)定值，即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度，亦如此。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能，確保您的真空控制器能實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。

應(yīng)用及案例

●人造鉆石MPCVD設(shè)備

●半導(dǎo)體各種CVD鍍膜設(shè)備

產(chǎn)品特色技術(shù)指標(biāo)尺寸連接尺寸詳圖宣傳彩頁

產(chǎn)品特色

● 快速、準(zhǔn)確的閥門和PID控制算法確保在數(shù)毫秒內(nèi)極其快速地達(dá)到真空設(shè)定值，且具有NIST可溯源精度。

● 默認(rèn)背壓控制選項(xiàng)。53系列真空控制器下游閥門的選項(xiàng)，可使您的真空產(chǎn)品成為背壓控制器。該選項(xiàng)與絕壓壓力傳感器配合時(shí)尤其能取得事半功倍的效果，后端真空泵如何變化，均可將您的過程系統(tǒng)保持在一定的準(zhǔn)確真空度。

● 針對CVD行業(yè)特殊設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)，VCR 接頭與底座一體式加工，結(jié)構(gòu)更加緊湊，泄漏率可達(dá)10^-9 atm·cc/sec He，更好的滿足客戶需求。

技術(shù)指標(biāo)

性能

滿量程	300-1000mbarA(該范圍內(nèi)任意標(biāo)定)
精度	± 0.25%滿量程
高精度	± 0.125%滿量程
重復(fù) 性	± 0.08%滿量程
零點(diǎn)&滿量程溫度漂移	0.02%滿量程/℃（從校準(zhǔn)溫度開始）
量程可控比（穩(wěn)態(tài)）	0.5% ~ 100% 滿量程
控制響應(yīng)時(shí)間	優(yōu)于30 ms（與流量和閥門尺寸有關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時(shí)間	＜10ms
閥門功能	常閉型
工作濕度	0-95%，無冷凝
泄漏率（外漏）	10-9 atm·cc/sec He
預(yù)熱時(shí)間	< 1 s

操作條件

兼容氣體	兼容所有非腐蝕性氣體
工作溫度	-10 ~ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)）
傳感器極限壓力	3 × 滿量程
位置敏感性	無
閥門狀態(tài)	常閉
防護(hù)等級	IP40
接液材質(zhì)	302,303,304，430FR不銹鋼，F(xiàn)KM（默認(rèn)，可選EPDM或FFKM），陶瓷，玻璃，金，銅，環(huán)氧樹脂，硅橡膠，聚酰胺，硅，玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚

通訊/電源

帶背光燈按鍵，單色 LCD或彩色TFT顯示器	顯示壓力和設(shè)定點(diǎn)
數(shù)字通信選項(xiàng)	默認(rèn)RS – 232/ Modbus RTU；可選RS – 485/Modbus RTU、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP、PROFIBUS等
模擬信號選項(xiàng)	默認(rèn)0 - 5 VDC；可選4-20mA、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC
模擬信號刷新頻率	1000Hz
顯示刷新頻率	10Hz
數(shù)字信號刷新頻率	40Hz@19200BAUD
模擬信號精度	標(biāo)準(zhǔn)精度額外增加±0.1%滿量程誤差
電氣接口	默認(rèn)DB9M；可選 DB15、6針鎖定、8針mini-DIN、M12等
供電電壓	12 - 24 VDC
供電電流	250m A（+40mA,對于4-20mA）

尺寸連接

尺寸(mm)1	112.51 H ×112.85 W × 26.67 D
連接2	1/4" VCRM
注1、默認(rèn)閥門為PCV閥門，其他閥門尺寸見具體圖紙；

尺寸詳圖

CVD行業(yè)專用絕壓控制器.jpg

宣傳彩頁

ALICAT 20W系列25V1.pdf