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ALICAT 標(biāo)準(zhǔn)型氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 sccm — 10000 slpm
測量范圍 0.01 ～ 100% 滿量程
內(nèi)置98種氣體，10ms快速響應(yīng)時(shí)間，精度優(yōu)于1%

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-低壓損型 20W系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM —— 1000 SLPM
可測范圍廣，0.01~100%滿量程
滿量程超低壓損最低為480Pa

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-基本型 10系列

品牌：ALICAT

量 程 從0-10 SCCM —— 0-20 SLPM
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)
量程比 200:1，低價(jià)位, 10ms快速響應(yīng)時(shí)間

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 10000 SLPM
層流差壓原理
抗腐蝕型

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 20Q系列

品牌：ALICAT

高壓應(yīng)用實(shí)時(shí)多元流量測量

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì) 02系列

品牌：ALICAT

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

品牌：ALICAT

量 程0.5 SCCM -10000 SLPM
優(yōu)于30 ms響應(yīng)時(shí)間

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 01系列

品牌：ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
熱貼片原理，體積小巧精致，適合系統(tǒng)集成
100ms快速響應(yīng)時(shí)間，優(yōu)于2%精度

ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
優(yōu)于1 %的精度
量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～10000 SLPM
量程可控比1%-100%