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ALICAT 本安防爆氣體質量流量控制器 ISMC系列
品牌: ALICAT
量 程0.5 SCCM -250 SLPM 優于1 %的精度 100 ms 快速響應
ALICAT 本安防爆低壓損型氣體質量流量控制器 ISMCW系列
量 程0.5 SCCM -10 SLPM 優于1 %的精度，超低壓損
ALICAT 本安防爆高壓型氣體質量流量控制器 ISMCQ系列
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM 優于30 ms響應時間
ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM優于30 ms響應時間
ALICAT 本安防爆耐腐蝕型氣體質量流量控制器 ISMCS系列
量 程0.5 SCCM -250 SLPM 優于100 ms響應時間
ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM優于1 %的精度量程可控比寬，0.5~100 %滿量程
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～10000 SLPM量程可控比1%-100%
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列
響應式氣體流量控制，適用于高壓應用
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM量程比 200：1內置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列
量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM量程比 100：1內置128種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度
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