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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 01系列(已停產(chǎn),可選替代款03系列)
品牌: ALICAT
量程100 SCCM ,1000 SCCM,20 SLPM,50 SLPM
熱貼片原理,體積小巧精致,適合系統(tǒng)集成
100ms快速響應時間,優(yōu)于2%精度
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列
品牌: ALICAT
量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)