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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 01系列（已停產(chǎn)，可選替代款03系列）

品牌: ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
熱貼片原理，體積小巧精致，適合系統(tǒng)集成
100ms快速響應時間，優(yōu)于2%精度

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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 03系列

品牌: ALICAT

品牌: ALICAT
滿量程 100 SCCM - 100 SLPM，優(yōu)于 1.5%RD 精度

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ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列

品牌: ALICAT

CVD行業(yè)專用真空控制器

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ALICAT CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器 51系列

品牌: ALICAT

CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器
層流差壓原理
非抗腐蝕

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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列

品牌: ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

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