EX-201SC-RJ數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

小巧，滿量程 10 SCCM - 10 SLPM， ± 1%SP精度，支持8種氣體切換

作為KOFLOC全新設(shè)計的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，EX201SC采用全新結(jié)構(gòu)設(shè)計從而大大減小了體積。傳感器/控制器/PID算法都沿用了DF200系列，也同時保證了優(yōu)異的精度和快速的響應(yīng)時間。通訊方面EX201SC支持基于RS-485的Modbus RTU，采用RJ45接口使用普通網(wǎng)線即可串聯(lián)多臺。

應(yīng)用及案例

? 分析儀器

? 半導(dǎo)體設(shè)備

? 工業(yè)爐窯

? 生物發(fā)酵培養(yǎng)設(shè)備

? 醫(yī)療設(shè)備

? 燃料電池

? 燃燒行業(yè)

? 汽車零部件檢測

? 真空鍍膜

? 光伏

? 食品和制藥

? 實驗室等

產(chǎn)品特色技術(shù)指標(biāo)尺寸詳圖產(chǎn)品大圖訂貨選型宣傳單頁

產(chǎn)品特點

? 數(shù)字式：RS485(Modbus-RTU)，RJ45接口更加快捷方便

? 體積小巧： 76*30*80MM

? 響應(yīng)時間快：＜1秒

? 高精度： ±1.0%SP（>35%FS）；0.35%FS（≤ 35%FS）

? 氣體切換：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4

? 量程切換：支持修改滿量程的30~100%

技術(shù)指標(biāo)

傳感器類型		熱式繞線型
適用氣體※1		N2（氣體切換功能適用于 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4）
量程※2		10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10SLPM
控制范圍		2~100%FS
響應(yīng)時間		＜1S
精度		± 1%SP（＞ 35%FS）；±0.35%FS（≤ 35%FS）
重復(fù) 性		± 0.2%FS
動作壓差※3		L型：50~149 KPa H型：150~300 KPa
入口最大壓力		500 Kpa（G）
最大耐壓		980 Kpa（G）
外部泄漏率		＜1.0x10^-8pa*m3/sec（He）
溫度	允許環(huán)境溫度	5~50 ℃
	精度保證溫度	15~35 ℃
	允許保存溫度	-10~60 ℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（未冷凝）
接液材質(zhì)		SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM
電氣連接		DB9M（依據(jù)SEI標(biāo)準(zhǔn)） RJ-45模塊化插孔 X 2
模擬流量設(shè)置信號		0~5V（輸入阻抗1MΩ以上）或4~20 mA（輸入阻抗250Ω以下）
模擬流量輸出信號		0~5V（最小負(fù)載電阻1MΩ以上）或4~20 mA（最小負(fù)載電阻250Ω以下）
數(shù)字通訊		RS-485旋轉(zhuǎn)開關(guān)的地址設(shè)置（可選Modbus-RTU）
所需電源		24 VDC（±10%），300 mA以下
過程接口		1/4" SWL（標(biāo)準(zhǔn)），可選1/8" SWL、1/4"VCRM、RC1/4"F
安裝方向		建議水平方向
重量		約500 g
尺寸（長寬高）※4		763080 mm