ST-500 PI（壓力不敏感）數字型全金屬密封質量流量控制器

PI壓力不敏感設計，全金屬密封，抗腐蝕性強，滿量程10SCCM~30SLPM，±1.0%SP精度，帶顯示屏

ST500繼承了ST550的全金屬密封產品高精度、快速響應、低泄漏率和兼容腐蝕性介質等優點。此外，相比于傳統的質量流量控制器，ST-500配備PI功能(Pressure Insensitive 壓力不敏感)。即在流量傳感器前段搭載壓力傳感器，根據捕捉到壓力變動以及變動前的變化，實時修正閥的開度，達成針對壓力變化也可以穩定控制流量的目的。
非常適用于半導體設備制造等對于穩定性和精確性等有高要求的氣體供給工藝。

應用及案例

● 半導體設備

● 工業爐窯

● 生物發酵培養設備

● 分析儀器

● 醫療設備

● 燃料電池

● 燃燒行業

● 汽車零部件檢測

● 真空鍍膜

● 光伏

● 食品和制藥

● 實驗室等

產品特色技術參數尺寸詳圖產品大圖訂貨選型宣傳彩頁

產品特點

● 采用隔膜式的全金屬密封MFC，經過EP以及氧化覆膜處理，可以兼容腐蝕性介質

● 帶顯示屏

● PI壓力不敏感設計

● 數字通訊：DeviceNet通信對應

● 可選IGS W型密封圈接頭

● 響應時間快：＜1秒

● 高精度：精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)

● 量程可切換：支持修改滿量程的30~110%

● 泄漏率低至＜1.0x10^-11pa*m³/sec(He)

技術參數

傳感器類型		熱式繞線型
閥門		電磁比例閥（斷電時關閉）
適用氣體※1		干燥的兼容性氣體
量程※2		10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10 SLPM	30 SLPM
控制范圍		2~100%FS
響應時間		＜1s
精度		±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS）
重復性		± 0.2%FS
動作壓差	L型	50~149 KPa	50~199 KPa
	H型	150~300 KPa	200~300 KPa
入口最大壓力		300KPa（G）
最大耐壓		1MPa（G）
PI功能※3		過沖流量≤±2%FS
外部泄漏率		＜1.0x10^-11pa*m³/sec（He）
溫度	允許環境溫度	5~50 ℃
	精度保證溫度	15~40 ℃
	允許保存溫度	0~60 ℃
允許環境濕度		0~80%RH（未冷凝）
接液材質		316L、PTFE、Au、Co-Ni
密封材料		SUS316L、Au
電氣連接 DeviceNet?		M12型5芯接頭
數字通訊		DeviceNet?
所需電源		11-25VDC，（5VA max）
過程接口		1.125"W型92 mm或1/4"VCRM
安裝方向		建議水平方向
重量		約1000 g
顯示		4位顯示屏