ST-550數(shù)字型全金屬密封質(zhì)量流量控制器

全金屬密封，抗腐蝕性強(qiáng)，滿量程10SCCM~30SLPM，±1.0%SP精度

ST550是全新升級(jí)的全金屬密封產(chǎn)品，它除擁有高精度、快速性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于高真空、強(qiáng)腐蝕或?qū)π孤┞视懈咭蟮膱?chǎng)合。

應(yīng)用及案例

● 半導(dǎo)體設(shè)備

● 工業(yè)爐窯

● 分析儀器

● 生物發(fā)酵培養(yǎng)設(shè)備

● 醫(yī)療設(shè)備

● 燃料電池

● 燃燒行業(yè)

● 汽車零部件檢測(cè)

● 真空鍍膜

● 光伏

● 食品和制藥

● 實(shí)驗(yàn)室等

產(chǎn)品特色技術(shù)參數(shù)尺寸詳圖產(chǎn)品大圖訂貨選型宣傳單頁(yè)

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 采用隔膜式的全金屬密封MFC，經(jīng)過(guò)EP以及氧化覆膜處理，可以兼容腐蝕性介質(zhì)

● 帶顯示屏（如果選RS485則不帶顯示屏）

● 數(shù)字通訊：可選RS485,DeviceNet?,EtherCAT?

● 可選IGS W型密封圈接頭

● 響應(yīng)時(shí)間快：＜1秒

● 高精度：精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)

● 量程可切換：支持修改滿量程的30~110%

● 泄漏率低至＜1.0x10^-11pa*m³/sec(He)


傳感器類型		熱式繞線型
閥門		比例電磁閥（斷電時(shí)關(guān)閉）
適用氣體※1		干燥的兼容性氣體
量程※2		10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10 SLPM	30 SLPM
控制范圍		2~100%FS
響應(yīng)時(shí)間		＜1s
精度		±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS）
重復(fù) 性		± 0.2%FS
動(dòng)作壓差	L型	50~149 KPa	50~199 KPa
	H型	150~300 KPa	200~300 KPa
入口最大壓力		300KPa（G）
最大耐壓		1MPa（G）
外部泄漏率		＜1.0x10^-11pa*m³/sec（He）
溫度	允許環(huán)境溫度	5~50 ℃
	精度保證溫度	15~40 ℃
	允許保存溫度	0~60 ℃
允許環(huán)境濕度		0~80%RH（未冷凝）
接液材質(zhì)		316L、PTFE、Au、Co-Ni
密封材料		SUS316L、Au
電氣連接	RS485	DB9M接頭、RJ-45模塊化插孔x 2
	DeviceNet?/EtherCAT?	M12型5芯接頭
模擬流量設(shè)置信號(hào)（只限RS-485）		0～5VDC（輸入阻抗約1MΩ）或 4～20mA（輸入阻抗約250Ω）
模擬流量輸出信號(hào)（只限RS-485）		0～5VDC（負(fù)載電阻1MΩ以上）或 4～20mA（負(fù)載電阻250Ω以下）
數(shù)字通訊		RS485/DeviceNet?/EtherCAT?
所需電源		11-25VDC，（5VA max）
過(guò)程接口		1.125"W型92 mm或1/4"VCRM
安裝方向		建議水平方向
重量		約1000 g