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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 01系列（已停產(chǎn)，可選替代款03系列）

品牌：ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
熱貼片原理，體積小巧精致，適合系統(tǒng)集成
100ms快速響應(yīng)時間，優(yōu)于2%精度

ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
優(yōu)于1 %的精度
量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～10000 SLPM
量程可控比1%-100%

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器 21V系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
內(nèi)置98種氣體，100ms響應(yīng)時間，優(yōu)于1%精度

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列

品牌：ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
內(nèi)置128種氣體，100ms快速響應(yīng)時間，優(yōu)于1%的精度

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列

品牌：ALICAT

響應(yīng)式氣體流量控制，適用于高壓應(yīng)用

ALICAT CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器 51系列

品牌：ALICAT

CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器
層流差壓原理
非抗腐蝕

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列

品牌：ALICAT

CVD行業(yè)專用真空控制器

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 03系列

品牌：ALICAT

品牌: ALICAT
滿量程 100 SCCM - 100 SLPM，優(yōu)于 1.5%RD 精度